典型的于式真空系統(tǒng)（見圖1）由SIHldry，凈化氣體模塊、吸入管線模塊（可選）、冷卻水循環(huán)模塊、氣體冷卻模塊、驅(qū)動控制柜組成。模塊化設計的靈活性可以使SIHIdry 應用于所有流程，尤其對于吸入壓力達1Pa以下， 處理介質(zhì)為含水分和灰塵、腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體等工況尤為合適，在化工、制藥、電子等需要潔凈真空的行業(yè)有廣泛的 應用。所有必需的元件可以集成在一個標準的系統(tǒng)中，丌位于泵內(nèi)、通過內(nèi)部冷卻水回路，可以精確地控制內(nèi)部溫度，從而防止介質(zhì)的冷凝、結(jié)晶和溶液的燃燒。 完全 安裝好的電氣和機械界面非常友好，驅(qū)動和控制可以完全集成在標準的機組中。各種不同的界面可以添加到已有的系統(tǒng)和流程中；驅(qū)動控制可以保護機器以防應用巾的故障—例如，當輸送含液體的介質(zhì)時，泵的速度可以 自動減少以輸送該介質(zhì)。當不含液體時，泵的速度將回歸到設定值。這同樣適用于輸送固體和粉末的場合。LCD顯示器可以給十轉(zhuǎn)子的沉積物和沖洗的效果。 如圖2所示，SIHIdry的基本設計包括FEP O形圈的殼體密封及以下元件：
（1）在殼體內(nèi)的變頻驅(qū)動電動機。
（2）用于冷卻泵殼、驅(qū)動電動機及雙螺桿的冷卻水回路。
（3）防上有害顆粒進入泵內(nèi)的吸入口過濾
1.氣體凈化模塊EX
標準的EExP氣體凈化系統(tǒng)用來調(diào)節(jié)、控制與監(jiān)測軸封處的惰性氣體N2的壓力，使系統(tǒng)符合ATEX防爆條例的要求而町以安裝在危險區(qū)域。該系統(tǒng)町集成在機組中并可以設置相關 參數(shù)。 2.吸入管線模塊（可選）
在需要的時候，該模塊可將泵與流程隔離。例如，當泵達到預定的溫度，或超過有機介質(zhì)（T4）的最大溫度極限時， 町自動切斷該流程，這種控制通過氣動控制吸氣閥來實現(xiàn)，該吸氣閥完全集成在控制驅(qū)動變量巾。同時，當連接到共用的真空管路時，吸氣閥可以防止回流。
3.冷卻水循環(huán)模塊
該模塊配置有循環(huán)泵、 流量顯示器、增壓器調(diào)節(jié)閥、溫度控制閥與熱交換器，該模塊完全集成在共同的底板上。當現(xiàn)場冷卻水進出口的壓差非常低及現(xiàn)場水質(zhì)很差的時候，該模塊特別見效。該循環(huán)冷卻系統(tǒng)可以精確地調(diào)節(jié)，以全流量來有效地降溫，以零流量來有效地升溫。 4.氣體冷卻模塊
該系統(tǒng)讓泵腔排出的氣體，經(jīng)過熱交換器并將其中一小部分再送回泵腔。 使用這種方式進行冷卻，冷卻的干空氣向雙螺桿的下一端進行傳輸，不會影響進氣口的吸氣能力。這樣町以在低的壓力下保證一定的流量，防止熱敏物質(zhì)的沉積。 5.驅(qū)動控制柜
（1）該模塊可以安裝在機組上，適用于在Ex區(qū)域I，防護等級EEx-p。
（2）內(nèi)置的電動機通過一個由變頻器、供電和控制模塊的單元進行操作。
（3）電子驅(qū)動系統(tǒng)防止機械元件由于夾帶液體等原因引起的過載。
（4）泵的速度可以減小，防止超過最大的允許電動機負荷。
（5）當夾帶的液體去除后，恢復起始操作點。
（6）SIHIdry可以覆蓋吸入壓力和吸氣量的整個 范圍。該泵能在其 性能范圍的任何點操作。同時，還可以預先設定需要的操作曲線：變速操作允許最靈活的操作并減小能量消耗。 （7）該模塊可以測量真空系統(tǒng)中的不同的過程壓力。
（8）在選用了驅(qū)動控制時，可以 使用操作顯示模塊，該模塊可以向操作人顯示SIHIdry參數(shù)，如速度、壓力、轉(zhuǎn)矩、溫度，可以簡單地使用按鈕控制，也可以使用LCD顯示。 另外，可提供PARA參數(shù)修正模塊。不是使用PLC程序，而是使用PARA軟件，能夠修正SIHIdry的特定參數(shù)，該參數(shù)由客戶決定，如溫度—亡下限、速度、壓力、設置、加熱循環(huán)等，為提供將來長期運行的適用性，需要基于汁算機的標準視窗。當配置有遠程診斷模塊，客戶能夠設定與檢查控制系統(tǒng)與參數(shù)，從而對泵進行遠程監(jiān)控。
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