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半導(dǎo)體工藝中干式真空泵的種類

油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類，最主要的特點(diǎn)是真空度高，能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復(fù)式真空泵為主要代表。隨著時(shí)間的推移，社會(huì)的進(jìn)步，它們?cè)诟鞣N應(yīng)用中的表現(xiàn)越來(lái)越不能使人們感到滿意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等，因此，干式真空泵應(yīng)運(yùn)而生。

在過(guò)去的十多年里，有好幾種不同類型的干式真空泵被設(shè)計(jì)和生產(chǎn)出來(lái)，它們?cè)跈C(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上有明顯差異。因?yàn)檫@種差異，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式，爪式，組合式（羅茨＋爪），螺桿式。當(dāng)今，這些類型被不同生產(chǎn)廠家所廣泛應(yīng)用。其中，圓裂片式，爪式和組合式（羅茨＋爪）被稱為多級(jí)泵。因?yàn)樗鼈兊墓ぷ鞣绞酱笾孪嗤际抢枚嗉?jí)真空腔對(duì)氣體進(jìn)行反復(fù)的壓縮來(lái)產(chǎn)生真空。在多次反復(fù)壓縮的過(guò)程當(dāng)中，氣體的溫度和壓力也產(chǎn)生比較復(fù)雜的變化，因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級(jí)泵，因?yàn)樗豢恳粋€(gè)真空腔來(lái)產(chǎn)生真空。根據(jù)其氣體壓縮方式的不同，又可將其分為內(nèi)部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。

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